二氧化钒薄膜的制备和应用研究新进展

来源：激光与红外杂志2015年第8期北京时间：

作者：杨玚，路远，杨华，徐凯

单位：电子工程学院，安徽 合肥 230037；红外与低温等离子体安徽省重点实验室，安徽 合肥 230037；

摘要：VO2在68 ℃左右时发生半导体—金属态的固-固相变，且相变前后光学和电学性能发生突变，该特性使VO2薄膜在红外智能窗、电致光开关器件、激光防护材料、自适应隐身材料等领域受到广泛研究。制备VO2薄膜的方法包括磁控溅射法、脉冲激光沉积法、溶胶-凝胶法、金属热蒸发法等，理想的制备参数是当前研究的重点。本文总结了近年来VO2在制备方法和应用发展上的研究现状，对进一步深入研究VO2薄膜的各项性能及应用具有借鉴意义。

关键词：二氧化钒薄膜;制备方法;应用进展

基金资助：脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金资助项目（No.SKL2013ZR03）资助