车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究

来源：激光与红外杂志2015年第9期北京时间：

作者：徐新行

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033；中国科学院大学,北京 100049；

摘要：为了获得高面形精度、高反射率的轻质反射镜,选用SiC为基底材料,对反射镜的加工制备工艺进行了深入研究。首先从车载大口径FSM中平面反射镜的应用需求出发,提出了反射镜的主要设计指标。然后,针对反射镜的轻量化结构采用反应烧结法获得镜坯,并通过机械加工使其接近成型；继而采用物理气相沉积法对SiC反射镜进行表面改性处理,进而采用古典抛光法对反射镜进行光学精加工；最后在反射镜的工作表面镀覆金反射膜。在完成车载大口径FSM用SiC反射镜的加工制备后,对反射镜的面形精度和反射率进行了实验检测。结果显示:SiC反射镜的面形精度(RMS值)优于λ/30；对中波激光的反射率约为98.0%,对长波激光的反射率约为98.2%；均满足车载大口径FSM的应用需求。

关键词：SiC反射镜;制备工艺;面形精度;反射率

基金资助：吉林省自然科学基金资助项目（No.201115123）;“863”项目（No.2011AA7031024G）资助