CdZnTe衬底对碲镉汞气相外延表面形貌的影响

来源：激光与红外杂志2015年第9期北京时间：

作者：王仍

单位：中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083；

摘要：利用气相外延技术在CdZnTe衬底上生长Hg1-xCdxTe薄膜材料,通过在不同晶向、不同极性、不同晶向偏离角度CdZnTe衬底上的外延结果发现,CdZnTe衬底对外延形貌的影响非常大。(111)面衬底上外延形貌明显优于(211)面衬底的外延形貌。对于同是<111>CdZnTe晶向的衬底,(111)Cd面CdZnTe衬底上的外延形貌明显优于(111)Te面。对于(111)Cd面CdZnTe衬底,当晶向偏离角度不同时,其外延形貌也有差异,晶向偏离角越小表面形貌越好。

关键词：：Hg1-xCdxTe晶体;CdZnTe衬底;(111)Cd面;(111)Te面

基金资助：国家自然科学基金(No.61106097;No.61204134;No.11304335);中科院三期创新项目(No.CX-26);中国载人航天工程资助