Slope RMS在三镜支撑设计与面形评价中的应用

来源：激光与红外杂志2015年第11期北京时间：

作者：李明璇

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033；中国科学院大学,北京 100049；

摘要：针对镜面面形均方根（RMS）无法反映表面面形的空间频域特性,借鉴了国际上先进的斜率均方根（Slope RMS）作为面形评价方法。本文以2 m级望远镜三镜作为例子,将Slope RMS作为优化目标函数,计算了支撑点的位置,给出的支撑之后面形误差RMS值为6.88 nm,在空间间隔为0.25 mm时的Slope RMS值为0.17809 μrad。利用Zernike多项式作为面形拟合基底函数,将对成像质量没有影响的刚体位移从面形误差中分离出来,得到最终的面形误差的RMS值为3.30 nm,在空间间隔为0.25 mm时的Slope RMS值为0.15943 μrad。研究结果表明,以Slope RMS为目标函数优化支撑点的支撑结果位置满足光学设计的要求,对更大口径光学元件的支撑设计提供了一种指导方法。

关键词：斜率均方根;三镜支撑;泽尼克多项式;面形拟合

基金资助：国家自然科学基金项目（No.11403022）资助