CaF2基底上近红外区宽带增透膜的研究
来源：激光与红外杂志2016年第1期北京时间：
作者：孙亚军
单位：江南大学理学院,江苏 无锡 214122；
摘要：以CaF2为基底设计了一种近红外区的宽带增透膜,增透波长为0.9~1.7 μm。分析了宽带增透膜初始结构的基本设计原则。分别以TiO2和SiO2作为高低折射率材料,采用电子束蒸发物理气相沉积(EBPVD)的方法进行工艺制备。利用岛津分光光度计对样品的透过率进行测量,样品双面镀制该膜系,测试结果表明样品的平均透过率达98.95%,与设计结果基本符合,具有宽带的增透特性。环境测试表明:该薄膜具有良好的附着力和牢固度,可以应用于对产品可靠性要求较高的环境中。
关键词：薄膜;电子束蒸发物理气相沉积;透过率 ;环境测试
