电视、激光、中波红外多波段增透膜研究
来源：激光与红外杂志2016年第5期北京时间：
作者：米高园
单位：西安应用光学研究所,陕西 西安 710065；
摘要：针对多光谱成像中存在的多光谱共光路问题,在ZnSe基底上设计了三波段增透膜。通过选取合适的薄膜材料,利用TFCalc膜系设计软件对膜系进行设计与优化,使用热蒸发和离子源轰击结合的方式沉积膜层,采用分光光度计和傅里叶红外光谱仪测量光谱特性。通过设计粘结层与保护层,有效提高了膜层与基底之间的结合力以及膜层的强度。该膜层可以实现多光谱ZnSe基底在电视（500~800 nm）、1064 nm激光和中波红外（3.7~4.8 μm）三个波段高效增透,且具有良好的环境适应性。
关键词：热蒸发离子源辅助 光学薄膜 环境可靠性
