红外探测器工艺用器皿清洗方法研究
来源：激光与红外杂志2016年第8期北京时间：
作者：孙浩
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：红外探测器材料一般为窄带系材料，在其制备工艺过程中，杂质离子更容易导致缺陷能级或表面快态复合中心，需选取较优的器皿清洗方法，对工艺用器皿所含金属离子进行评测控制。本文通过电感耦合等离子体质谱仪对比碲镉汞红外探测器工艺线上不同的器皿及清洗方法，对清洗后金属离子残留测试分析，获得较佳的器皿清洗方法，更好地保证红外探测器制备后性能。
关键词：红外探测器;器皿清洗;金属离子
