光敏聚酰亚胺在硫化镉紫外器件中的应用
来源：激光与红外杂志2016年第9期北京时间：
作者：郭喜
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：介绍了光敏聚酰亚胺的特性及应用情况,将其引入到硫化镉紫外器件制作中,通过实验研究开发并掌握一种正性光敏聚酰亚胺的光刻工艺,亚胺化后将其作为硫化镉器件的表面钝化层,经过实验验证其粘附牢固度和光电性能满足使用要求。同时该光敏聚酰亚胺的应用能够简化近40%的制作工艺,提高了硫化镉紫外器件的生产效率和成品率。
关键词：光敏聚酰亚胺;硫化镉;紫外器件;光刻;亚胺化;表面钝化
