高精度透射式光电定心仪的研究

来源：激光与红外杂志2016年第9期北京时间：

作者：张欣婷

单位：长春理工大学光电信息学院,吉林 长春 130012；中国中车长春轨道客车股份有限公司,吉林 长春 130000；

摘要：针对目前定心仪产品精度不高、结构复杂且形式单一的现状,在对传统透镜表面反射像定心法、球心自准像定心法和光学电视定心法的不足进行分析的基础上,提出了一种高精度透射式光电定心仪研究方法。系统采用激光为光源,设计了扩束准直系统,使入射到待测透镜上的为发散角极小的平行光；利用位置敏感探测器PSD测量经过待测透镜会聚的光斑重心坐标,来判断是否实现精确定心。该定心仪结构简单、测量方便,可在测量范围+∞≥R≥-∞内,达到1 μm的定心精度,在透镜加工领域具有很广阔的发展前景。

关键词：定心仪;透射式;高精度;扩束准直;PSD

基金资助：吉林省科技厅项目（No.20100610）资助