基于激光回馈干涉系统的PZT迟滞特性测量

来源：激光与红外杂志2016年第9期北京时间：

作者：邓勇

单位：南通大学机械工程学院,江苏 南通 226019;北京航天航空大学仪器科学与光学工程学院,北京100191;清华大学机械工程学院,北京 100084；

摘要：压电陶瓷迟滞特性对精密控制系统的精度具有重要影响,目前PZT迟滞特性的测量方法精度较低或者测量系统复杂,难以实现高精度测量。总结分析了目前测量压电陶瓷特性的方法,并使用基于激光回馈干涉原理的微片激光回馈干涉测量系统,利用物体表面的散射光对压电陶瓷的迟滞特性进行测量和分析。该方法不需靶镜,对被测对象要求较低,测量便捷,测量精度达到纳米量级,对精密控制系统中压电陶瓷的校准测量具有重要意义。

关键词：压电陶瓷;迟滞特性;激光回馈

基金资助：国家自然科学基金项目(No.61475082)资助