多功能光纤端面激光宽带减反射膜的应用研究

来源：激光与红外杂志2016年第10期北京时间：

作者：李美萱

单位：长春理工大学,吉林 长春 130022;长春理工大学光电信息学院,吉林 长春 130012；

摘要：在光学系统中,设计了一种新型的近红外光纤宽带激光减反射膜,应用波段为800~1300 nm,能够同时适用于多波段大功率半导体激光器并具备较高损伤阈值。通过选择合适的光学材料,利用TFCalc软件仿真,调整最佳的工艺参数,采用热蒸发式真空镀膜机及RF离子源辅助沉积的方法,解决了小口径光纤端面的清洁和低温镀膜时膜层的牢固性等问题,实验采用Agilent CARY6000i型光波测量系统对镀膜后的样品进行光谱分析,实验结果显示,该减反射膜在800~1300 nm平均透射率为99.2%。分别用单管808 nm、980 nm和1064 nm半导体激光器为光源测得多模光纤镀膜后的输出功率较镀膜前均有明显提高。该膜层有效地提高了大功率半导体激光器与光纤的耦合效率具有更好的应用价值和实用意义。

关键词：真空镀膜;多模光纤;减反射膜;半导体激光器;损伤阈值;耦合效率

基金资助：国家自然科学基金合作项目(No.11474037)资助