He-Ne激光回馈纳米条纹宽度标定方法研究

来源：激光与红外杂志2016年第10期北京时间：

作者：邓勇

单位：南通大学机械工程学院,江苏 南通 226019；

摘要：科技发展需要对各种纳米测量仪器的“纳米”确定性进行检定。介绍了一种基于MSP430F149单片机的Fabry-Parot腔双频高阶弱回馈位移测量系统条纹宽度标定方法,通过计算出测量靶镜运动同一位移时高阶回馈纳米条纹与传统弱回馈半波长条纹的频率之比,精确地标定出激光高阶弱回馈纳米位移测量系统的光学分辨率。测量结果表明系统可溯源的光学分辨率为10.37 nm,加入20倍电细分后系统最终的分辨率为0.53 nm。

关键词：激光回馈;纳米条纹;单片机;溯源性;宽度标定

基金资助：国家自然科学基金重点项目(No.61475082);研究生创新项目(No.KYLX16_0968）资助