长波长线列碲镉汞焦平面器件拼接工艺研究
来源：激光与红外杂志2017年第1期北京时间：
作者：谢珩
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：长波5000元长线列碲镉汞焦平面器件由5个长波1000元混成芯片在拼接基板上交错排列组成。本文采用拼接互连设备的正贴方法进行单模块与拼接基板的拼接,试验结果表明:该拼接方法的拼接位置精度在X和Y轴方向均小于8 μm,在Z轴方向小于15 μm,满足需求。
关键词：长波;长线列;碲镉汞;红外焦平面;拼接工艺
《激光与红外杂志》发表论文赏析
作者：谢珩
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：长波5000元长线列碲镉汞焦平面器件由5个长波1000元混成芯片在拼接基板上交错排列组成。本文采用拼接互连设备的正贴方法进行单模块与拼接基板的拼接,试验结果表明:该拼接方法的拼接位置精度在X和Y轴方向均小于8 μm,在Z轴方向小于15 μm,满足需求。
关键词：长波;长线列;碲镉汞;红外焦平面;拼接工艺
