百万像素级红外焦平面器件倒装互连工艺研究
来源：激光与红外杂志2017年第3期北京时间：
作者：谢珩
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：介绍了倒装互连技术的工艺原理,阐述了红外焦平面器件倒装互连的工艺特点。通过系列实验和分析,最终优化并确定了百万像素级红外焦平面器件倒装互连的工艺参数,获得了良好的互连效果。
关键词：倒装互连;百万像素;碲镉汞;红外焦平面
基金资助：国防基础科研计划项目（No.JCKY2016210B002)资助
《激光与红外杂志》发表论文赏析
作者：谢珩
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：介绍了倒装互连技术的工艺原理,阐述了红外焦平面器件倒装互连的工艺特点。通过系列实验和分析,最终优化并确定了百万像素级红外焦平面器件倒装互连的工艺参数,获得了良好的互连效果。
关键词：倒装互连;百万像素;碲镉汞;红外焦平面
基金资助：国防基础科研计划项目（No.JCKY2016210B002)资助
