激光化学气相沉积石墨烯聚焦光斑测量研究

来源：激光与红外杂志2017年第4期北京时间：

作者：刘婷婷

单位：厦门大学航空航天学院,福建 厦门 361005；

摘要：激光化学气相沉积(Laser Chemical Vapor Deposition,LCVD)石墨烯制备受聚焦光斑影响很大。实时检测光斑,可实现石墨烯LCVD法可控制备。设计聚焦光斑测量光学系统,提出一种基于圆拟合的改进算法检测光斑中心和半径,计算、标定光斑面积。该方法在圆拟合基础上加入了二值化、形态学处理及连通性判别等预处理方法。实验表明,该方法测得圆心位置与真值误差平均为5.58 pixel,光斑面积与真值误差平均为1.93×10-9 m2,优于传统的重心法和霍夫检测法,具有较快的计算速度和检测精度,可实现LCVD法制备石墨烯实验中聚焦光斑的非接触式测量,且对其他激光加工工艺的质量控制有借鉴意义。

关键词：激光化学;圆拟合;聚焦光斑;石墨烯

基金资助：国家自然科学基金项目(No.61575165);福建省科技计划重大专项（No.2015HZ002-1）资助