高频飞秒激光对硅材料烧蚀的热积累效应
来源：激光与红外杂志2017年第4期北京时间：
作者：李志明
单位：脉冲激光技术国家重点实验室,安徽 合肥 230031；
摘要：对硅材料飞秒激光损伤进行了数值模拟。首先,在飞秒激光与硅相互作用的双温模型中引入能带电子激发、双光子吸收,俄歇复合等一系列非线性项,通过每一个光场半周期中的麦克斯韦电磁场公式,得出材料中不同时间的光场强度,作为描述材料对光强的响应物质方程的输入项。通过麦克斯韦方程与物质方程间的迭代可以得到烧蚀的硅的一系列参数,如电子浓度、晶格温度等。在此基础上分析了皮秒、亚皮秒量级双脉冲和三脉冲飞秒激光作用下,激光能量密度和脉冲延迟时间对热积累效应的影响。
关键词：飞秒激光;多脉冲;双温方程;热积累效应
