液相外延原位Au掺杂碲镉汞薄膜材料的研究
来源：激光与红外杂志2017年第7期北京时间：
作者：胡尚正
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：通过液相外延方法,在碲锌镉衬底上制备了原位Au掺杂碲镉汞薄膜材料,采用金相显微镜、X光双晶衍射仪、二次离子质谱仪、Hall测试、少子寿命测试等手段对Au掺杂的碲镉汞薄膜材料进行了表征,外延片的表面形貌、晶格质量等和常规的碲镉汞外延材料基本相当,少子寿命较常规材料提高至少一个量级,芯片R0A提高至少5倍,并成功制备出了截止波长为10 μm的256×256探测器芯片,响应率非均匀性为2.85%,有效像元率为99.2%。
关键词：碲镉汞;液相外延;Au掺杂
