《激光与红外杂志》发表论文赏析

碲镉汞材料双面平坦化工艺研究

来源：激光与红外杂志2017年第8期北京时间：

作者：李春领

单位：华北光电技术研究所,北京 100015；

摘要：通过对30 mm×25 mm尺寸的碲镉汞材料和器件进行双面平坦化工艺,使其平面度达到与Si读出电路互连要小于2 μm的要求,提高了MW1280×1024焦平面器件互连成品率。、

关键词：碲镉汞;双面平坦化;平面度;倒装互连

基金资助：国防基础科研计划项目(No.JCKY2016210B002)资助

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