飞秒激光辅助制备熔石英表面的网格状微流体

来源：激光与红外杂志2017年第8期北京时间：

作者：李广

单位：四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所四川省重点实验室,四川 成都 610064;华北光电技术研究所,北京 100015；

摘要：报道了一种利用飞秒激光直写后再用化学腐蚀熔石英表面制备得到网格状微流体沟道,然后在其表面覆盖一层PDMS薄膜制备网格状半密闭微流体通道的方法。微流体沟道的形成机制可以定义为飞秒激光辐照导致基底材料改性,而改性区域对HF水溶液的溶解度增强。使用光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)表征了网格状微流体通道的形貌。此外,为了测试该微流体结构的流动特性,进行了液体注入实验。

关键词：网格状微流体;飞秒激光;直写;液体注入

基金资助：国家自然科学基金重大项目(No.11574221)资助