激光诱导沉积高粘度银浆制备微结构的研究

来源：激光与红外杂志2017年第8期北京时间：

作者：李洪辉

单位：广东工业大学特种能场加工实验室,广东 广州 510006；

摘要：激光诱导向前转移是近些年来兴起的一种微加工技术,可以用来转移金属材料、生物材料和各向异性材料等。进行了利用纳秒激光诱导沉积高粘度导电银浆的实验研究,并对接收层上沉积的银浆进行观察分析,探讨了激光脉冲能量和与接收层的距离对沉积效果的影响,分析了沉积过程,沉积出连续银浆导线,并分析其导电特性。实验发现,当激光脉冲能量为87 μJ,与接收层的距离为40 μm时,沉积点均匀稳定,直径为一百多微米。通过调节三维平台带动靶材移动,用交叉打点的方法进行沉积,可制备出连续银浆导线,导线的宽度约100 μm,电阻率达6.12×10-8 Ωm,与靶材的电阻率相差不大,可以用于微电路和微传感器等的制备。一维线状连续微结构的成功制备,为以后沉积二维微结构,甚至三维结构奠定了基础。

关键词：激光诱导向前转移;高粘度银浆;微结构;电阻率

基金资助：国家自然科学基金项目(No.11172072)；国家自然科学基金项目(No.51175091)资助