基于偏振混叠的氦氖激光器纳米测尺系统

来源：激光与红外杂志2017年第8期北京时间：

作者：邓勇

单位：南通大学机械工程学院,江苏 南通 226019；北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京 100191；

摘要：提出一种基于偏振混叠的氦氖激光器纳米测尺系统,将双折射元件插入He-Ne激光器谐振腔内产生频率分裂,使激光器变成了频差可调的双频激光器。运用频率分裂、模竞争、双纵模功率调谐等激光物理效应,使用偏振混叠方法和设定浮动阈值,研制了新型的激光器纳米测尺。以激光波长为尺子,具有可溯源性,在没有任何电细分的条件下达到了纳米量级的分辨率,与激光干涉仪的比对实验表明,该系统的分辨率为79 nm,量程为20 mm,线性度为5.8×10-5,标准差为520 nm。

关键词：位移测量;正交偏振;He-Ne激光器;频率分裂;功率调谐;偏振混叠

基金资助：国家自然科学基金项目(No.61475082)；国家重大仪器专项(No.2011YQ04013603)；北京市科委项目(No.Z151100002415027)资助