非制冷红外焦平面探测器热敏薄膜技术研究进展

作者：王成刚，宋广

单位：华北光电技术研究所，北京 100015；

摘要：近年来红外探测技术在军事和民用领域得到了迅速的发展，非制冷红外探测器以其低成本、小型化、非制冷等优势在红外探测系统发展中占据着重要的地位。本文总结了国内外非制冷红外探测器的发展现状，分析了两种主要的非制冷红外探测器技术路线的特点及差异，并给出了这两种技术路线后续发展趋势。

关键词：非制冷红外探测器;氧化钒;非晶硅