MEMS摆镜在小型化激光成像雷达中的应用
来源：激光与红外杂志2017年第9期北京时间：
作者：张驰
单位：中国科学院红外探测与成像技术重点实验室,中科院上海技术物理研究所,上海 200083;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033；
摘要：研究了MEMS摆镜在未来小型化激光成像雷达的系统中的应用。首先介绍了MEMS摆镜自身的器件特性,结合脉冲成像激光雷达的应用背景,分析了系统设计时要注意的问题。进一步设计了MEMS摆镜的驱动模块,通过仿真和成像验证了李萨如扫描图形的应用。
关键词：MEMS摆镜;激光成像雷达;光学镀膜;李萨如扫描
