采用化学腐蚀法制备光纤Fabry-Perot应变传感器

来源：激光与红外杂志2017年第11期北京时间：

作者：上官春梅

单位：北京信息科技大学光电信息与仪器北京市工程研究中心,北京 100016；合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥 230009；

摘要：提出了一种采用化学腐蚀方法制备光纤Fabry-Perot(F-P)传感器的方法,采用浓度为40%的氢氟酸溶液对单模光纤端面进行腐蚀处理,并通过电弧放电对光纤端面进行熔接,制作光纤F-P传感器。实验中,将单模光纤端面在40%浓度的氢氟酸中腐蚀20 min制作出深度21 μm的凹槽,并将该腐蚀过的光纤和端面切平的单模光纤相对熔接,通过电弧放电进行熔接构成F-P腔结构,条纹对比度为8 dB；对制备的光纤F-P传感器的应变特性及温度特性进行了实验和分析,结果表明采用化学腐蚀法制作的光纤F-P传感器对应变具有良好的灵敏度,加载灵敏度可达到3.78 pm/με,线性度为0.999；卸载灵敏度为-4.25 pm/με,线性度为0.985。

关键词：化学腐蚀;氢氟酸;Fabry-Perot;温度;应变

基金资助：教育部“长江学者和创新团队”发展计划项目(No.IRT1212);北京市教委2015年度创新能力提升计划项目(No.TJSHG201510772016)资助