基于菲涅尔衍射的圆孔直径测量
来源：激光与红外杂志2018年第3期北京时间：
作者：罗晓贺
单位：北京理工大学光电学院,北京 100081；
摘要：本文提出一种新的圆孔直径测量的方法。平行光照射下,圆孔直径和菲涅尔衍射光强分布中峰值轮廓直径存在一定的关系,根据该关系可以实现圆孔直径的测量。仿真和实验数据证明,该方法对于直径5~10 mm的圆孔可以达到亚微米级的测量精度。
关键词：直径测量;菲涅尔衍射;峰值轮廓;边缘轮廓
基金资助：国家自然科学基金项目(No.61475018)资助
《激光与红外杂志》发表论文赏析
作者：罗晓贺
单位：北京理工大学光电学院,北京 100081；
摘要：本文提出一种新的圆孔直径测量的方法。平行光照射下,圆孔直径和菲涅尔衍射光强分布中峰值轮廓直径存在一定的关系,根据该关系可以实现圆孔直径的测量。仿真和实验数据证明,该方法对于直径5~10 mm的圆孔可以达到亚微米级的测量精度。
关键词：直径测量;菲涅尔衍射;峰值轮廓;边缘轮廓
基金资助：国家自然科学基金项目(No.61475018)资助
