基于扫描激光差动技术的圆度误差检测

来源：激光与红外杂志2018年第3期北京时间：

作者：刘珊

单位：1.北华航天工业学院机电工程学院,河北 廊坊 065000；2.北华航天工业学院电子与控制学院,河北 廊坊 065000；3.廊坊中建机械有限公司,河北 廊坊 065000；

摘要：为了提高回转体圆度误差测量精度,基于差动技术,并利用小波变换过滤算法及圆度误差最小二乘法模型,提出一种基于扫描激光差动技术的圆度误差检测系统。采用分光镜分束的方法,形成两束光强调制信号,从原理上消除偏心误差的影响。通过对一标定零件进行圆度误差测量实验,设定不同的实验条件,偏心量分别为2~4 mm,5~7 mm、8~9 mm,所测得圆度误差值相差不超过0.62 μm。表明测量系统可以有效消除偏心误差,完成对回转体零件圆度误差的检测。解决了目前圆度误差检测中回转轴偏心量误差消除难度大、测量效率低等问题,为高精度检测提供了一种新思路。

关键词：激光差动;圆度误差;偏心量;小波变换算法

基金资助：河北省科技创新引导计划项目（No.17247673D）;廊坊市科技计划支撑项目（No.2016011069）;校级项目（No.KY-2016-14）资助