激光剪切干涉三维形貌测量
来源：激光与红外杂志2018年第4期北京时间：
作者：刘光明
单位：电子科技大学光电信息学院,四川 成都 610054；
摘要：针对物体表面的三维形貌测量问题,提出了一种基于激光剪切干涉条纹的三维形貌测量方法。该方法利用激光剪切干涉原理产生密集的干涉条纹,将干涉条纹阵列照射到待测表面。利用四步相移法和解包裹算法求解被测物体表面的连续相位,进而获取曲面表面高度信息,最后建立被测物体三维形貌。本文对楔形薄片和木块进行了测试,初步实验结果证明了该方法原理的可行性。该方法可以与显微镜相配合,进一步发展可用来测量微结构3D形貌,在微测量领域具有很大的应用前景。
关键词：激光;剪切干涉;四步相移;相位解包裹;三维形貌测量
基金资助：国家自然科学基金项目(No.61177036)资助
