基于线阵CCD的多表面焦点偏移测量

来源：激光与红外杂志2018年第4期北京时间：

作者：简俊明

单位：1.中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽 合肥 230026；2.中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,江苏省医用光学重点实验室,江苏 苏州 215163；

摘要：在显微成像过程中,焦点偏移对长时间的活细胞观测等应用有很大影响,自动对焦技术是解决该问题最有效的技术手段之一。反射式的主动式表面偏移测量是显微镜实现自动对焦的关键,但是在存在多个表面反射的情况下如何进行准确的焦点偏移测量仍是需要解决的一个问题。本文提出了一种针对多表面反射的焦点偏移测量方法,该方法采用线阵CCD对反射光斑进行成像,不同表面反射回来的光斑在线阵CCD上可以很好的区分,通过窗口加权质心法够精确地测量所需要的表面反射光斑在CCD上的位移,从而精确测定焦点偏移,在样品干燥和样品湿润的情况下测量精度分别达到106 nm和111 nm。

关键词：焦点偏移;多表面反射;线阵CCD

基金资助：国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.ZDYZ2013-1)；国家自然科学基金面上项目(No.61475185)；中科院百人计划项目资助