软脆碲锌镉衬底的新型化学抛光技术研究
来源：激光与红外杂志2018年第10期北京时间：
作者：侯晓敏
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：碲锌镉(CdZnTe)是液相外延碲镉汞(HgCdTe)薄膜的最佳衬底材料。获得高质量的CdZnTe衬底表面对于提升红外探测器的性能有着十分重大的意义。针对CdZnTe表面加工技术进行了研究,开发出一种新的化学抛光技术,使得抛光后的CdZnTe表面粗糙度Ra可达0.3 nm。
关键词：碲锌镉衬底;化学抛光;表面粗糙度
《激光与红外杂志》发表论文赏析
作者：侯晓敏
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：碲锌镉(CdZnTe)是液相外延碲镉汞(HgCdTe)薄膜的最佳衬底材料。获得高质量的CdZnTe衬底表面对于提升红外探测器的性能有着十分重大的意义。针对CdZnTe表面加工技术进行了研究,开发出一种新的化学抛光技术,使得抛光后的CdZnTe表面粗糙度Ra可达0.3 nm。
关键词：碲锌镉衬底;化学抛光;表面粗糙度
