基于偏振差分干涉技术声表面波检测系统研究

来源：激光与红外杂志2018年第10期北京时间：

作者：刘雪莲

单位：1.天津大学机械工程学院,天津 300350; 2.天津大学精仪学院,天津 300072；

摘要：针对宽频声表面波的高灵敏度检测需求,研究设计搭建了基于偏振差分干涉技术的激光声表面波检测系统。实验中从干涉条纹可见度和差分信号的大小来评估系统的调试效果,利用压电陶瓷纳米位移台和SIOS干涉仪对检测系统进行测试和标定,得到系统的最小静态、动态检测位移；对系统各组成部分的噪声信号进行分析,并提出相应的抑制方法。最后对系统进行重复性测量,并对铝、硅样片上的激光声表面波信号进行检测。本研究为声表面波检测系统的性能评估提供了科学可行的方法,为声表面波技术在无损检测中的应用提供了一种可靠的测量手段。

关键词：光学干涉;激光声表面波;系统分析;无损检测