图像式角位移测量技术研究进展与展望

来源：激光与红外杂志2019年第6期北京时间：

作者：贾兴丹

单位：1.中国科学院大学长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033；2.中国科学院大学,北京 100049；

摘要：图像式角位移测量技术是采用数字图像处理技术实现光电位移精密测量的新兴技术。因其较传统莫尔条纹技术更能在小尺寸光栅码盘下实现高精度、高分辨力的角位移测量,已成为当前的研究热点之一。为了进一步研究图像式角位移测量技术,本文系统的对现有的使用图像探测器的测量技术进行了分析,总结了国内外发展现状的优缺点,并对图像式角位移测量技术的发展进行了展望,为高精度高分辨力角位移测量技术的研究提供依据。

关键词：图像式角位移测量;高精度、高分辨力;研究进展;展望

基金资助：国家自然科学基金项目(No.51605465);吉林省科技发展计划资助项目(No.20180520184JH)资助