集成式偏振红外焦平面探测器的制备
来源：激光与红外杂志2019年第10期北京时间：
作者：林国画
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：集成式偏振红外焦平面探测器是红外探测器应用的新的发展方向,国内近几年开展了相关的研究工作,本文围绕集成式长波320×256碲镉汞偏振红外焦平面探测器的研制,叙述了从技术路线选择到偏振结构的设计、制备等方面开展的工作及阶段测试结果,这些工作为后续的研制打下了良好的基础。
关键词：集成偏振探测器;光刻;偏振对比度
《激光与红外杂志》发表论文赏析
作者：林国画
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：集成式偏振红外焦平面探测器是红外探测器应用的新的发展方向,国内近几年开展了相关的研究工作,本文围绕集成式长波320×256碲镉汞偏振红外焦平面探测器的研制,叙述了从技术路线选择到偏振结构的设计、制备等方面开展的工作及阶段测试结果,这些工作为后续的研制打下了良好的基础。
关键词：集成偏振探测器;光刻;偏振对比度
