光阑限制飞秒高斯激光光束对微孔加工的影响

来源：激光与红外杂志2019年第10期北京时间：

作者：彭东东

单位：西安中科微精光子制造科技有限公司,陕西 西安 710119；

摘要：基于飞秒微孔加工平台,开展了激光加工光路中光阑尺寸对激光微孔加工孔壁质量影响的实验研究,并采用软件仿真和实验结合的方法研究不同光阑限制高斯光束造成的能量波动情况和对实际加工效果的影响。仿真结果表明在光阑光束比小于1.6的情况下高斯光束截面能量分布开始受到影响,高斯光束截面出现能量波动现象。并对不同光阑光束比情况下微孔加工进行实验,实验结果表明:在光阑光束比小于1.6情况下高斯光束截面能量分布发生调制,但是能量波动起初对实际加工影响较小。随着光阑光束比的下降微孔加工孔壁粗糙度增加,当光阑光束比小于0.9时孔壁出现凹槽,孔壁不再光滑,当光阑光束比小于0.7时会严重影响激光加工效率且孔壁质量进一步恶化。

关键词：光阑;飞秒激光;高斯光束;微孔加工

基金资助：国家重点研发计划项目(No.2018YFB1108000)资助