基于伪随机罗斯轨迹的光学表面中频误差抑制研究

来源：激光与红外杂志2019年第11期北京时间：

作者：乔励城

单位：1.长春理工大学,吉林 长春 130022；2.长春理工大学光电信息学院,吉林 长春 130022；3.吉林省远大光学检测技术有限公司,吉林 长春 130022；4.长春奥普光电技术股份有限公司,吉林 长春 130022；

摘要：光学表面的中频误差的控制长期以来一直是光学加工中的热点、难点问题。对于接触式的计算机控制光学表面成形技术,传统的加工路径如光栅式路径和螺旋线式路径通常会引入固有的中频误差,而新型的伪随机轨迹对机床的动态性能要求过高,使其难以普遍应用。基于对伪随机轨迹的研究,本文提出了利用伪随机罗斯轨迹对光学表面中频误差进行抑制的方法。在保证加工路径不重合和遍历工件表面的基础上,建立了伪随机罗斯轨迹的参数模型。针对传统的加工路径和伪随机罗斯轨迹进行了工艺对比实验,并对干涉结果进行功率谱密度分析。实验结果表明,三种路径对于低频误差均可以实现有效地抑制,而传统路径对于1/0.07 mm以上的频段误差会则会产生不良的影响,而伪随机罗斯轨迹则对于中频误差可以实现有效地抑制。

关键词：伪随机罗斯轨迹;中频误差;光学表面质量;功率谱密度分析