基于激光自混合干涉的高精度角度测量方法

来源：激光与红外杂志2020年第1期北京时间：

作者：朱均超

单位：天津理工大学 光电器件与通信技术教育部工程研究中心,天津市复杂系统控制理论及应用重点实验室,天津 300384；

摘要：针对光学高精度角度测量技术的需求,基于激光自混合干涉技术提出一种高精度角度测量方法。建立了激光自混合干涉技术高精度测量角度的系统模型,利用干涉条纹计数法分析出目标物体具有角度变化时,外腔长度产生的变化量,并通过激光三角法测量原理计算出目标物体旋转的角度,从而构建出精确的角度测量系统。实验结果表明:该测量系统在±0.4°角度范围内测量精度可达(±3.1×10-3)°,具有精度高、速度快等显著优势,是对现有高精度角度测量技术的一种有益补充。

关键词：关键词:激光自混合干涉;高精度角度测量;干涉条纹计数法;激光三角法

基金资助：国家自然科学基金项目(No.61803281)；天津市自然科学基金项目(No.18JCQNJC75500)；天津市教委科研计划项目(No.2017KJ253)资助