大口径大视场望远镜探测器平面度检测方法综述

来源：激光与红外杂志2020年第4期北京时间：

作者：郭宁馨

单位：1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033；2. 中国科学院大学，北京 100049；

摘要：为了更好地适应大口径大视场望远镜的成像要求,在相机焦平面拼接多个CCD使其能够覆盖望远镜的全视场成为大口径大视场望远镜光学相机设计的重点。本文系统地总结了当前国内外探测器平面度测量方法的最新研究进展,对比了应用较广的扫描白光干涉仪、三角激光测量仪以及激光同轴位移器的特点。文章还结合了国外大口径大视场望远镜中的相机焦平面靶面拼接特点,对其测量方法及设备进行了详细介绍和总结分析,为大口径大视场地基光电望远镜焦平面拼接探测器的平面度测量提供一定的经验参考。

关键词：CCD;平面度;测量仪器;大口径大视场地基光电望远镜

基金资助：国家自然科学基金项目(No.11703026;No.11803034);白求恩医学工程与仪器中心基金项目(No.BQEGCZX2019042)资助