飞秒激光微孔加工发展综述

作者：马国庆

单位：西安工业大学机电工程学院,陕西西安 710021；

摘要：随着飞秒激光器的成熟,飞秒激光的应用越来越广泛。由于飞秒激光独特的属性,在微孔加工中具有明显的优势。本文介绍了飞秒激光与材料之间的相互作用机理、飞秒激光打孔的理论研究发展、打孔方式的研究以及各种飞秒激光加工参数的探索。总结了目前发展遇到的问题,未来的发展趋势并提出自己的观点。

关键词：飞秒激光;微孔加工;飞秒激光加工参数

基金资助：陕西省特种加工重点实验室开放基金项目(No.SXTZKFJJ201902);西安市未央区科技计划—产学研协同创新计划项目(No.201912)资助