液体填充增敏型法布里-珀罗微腔光纤温度传感器

来源：激光与红外杂志2020年第7期北京时间：

作者：赵琼

单位：1.西安工业大学兵器科学与技术学院,陕西 西安 7100021；2.西安工业大学光电工程学院,陕西 西安 7100021；3.西安冠华电子科技有限公司,陕西 西安710089；

摘要：为了提高传统空气腔法布里-珀罗(法珀)干涉仪的温度灵敏度,提出了一种基于液体填充的增敏型 法珀微腔光纤温度传感器。传感器采用标准单模光纤与二氧化硅毛细管制作长度为微米量级的光纤法珀微腔并填充以液体。对所制作液体填充法珀微腔光纤温度传感器,由反射光谱通过相关算法计算绝对腔长的方式实现温度解调。理论和实验均表明,该液体填充型法珀微腔传感结构具有明显的温度增敏效果。对于腔长为~12.140 μm的液体填充法珀微腔光纤温度床感器,其腔长-温度灵敏度达到了2.185 nm/℃,高于作为参照的非填充空气腔法珀光纤温度传感器高一倍左右,增敏效果明显。

关键词：液体填充;光纤温度传感器;法布里—珀罗腔;相关解调

基金资助：陕西省光电测试与仪器技术重点实验室开放基金资助项目(No.2015SZSJ603)资助