HgCdTe外延材料批量化生产及其质量控制

来源：激光与红外杂志2020年第9期北京时间：

作者：张冰洁

单位：武汉高芯科技有限公司,湖北 武汉 430205；

摘要：经过多年研发,我司的碲镉汞(HgCdTe)红外焦平面探测器已达到批量生产的水平。优异性能的红外探测器离不开高质量的HgCdTe外延材料,外延材料的厚度及组分均匀性、表面缺陷的控制以及HgCdTe外延/CdZnTe衬底晶格匹配度是批量化生产中需要控制的关键性因素,红外探测器的批量化生产也给HgCdTe外延材料质量稳定性以及一致性的控制提出了更高的要求。本文介绍了HgCdTe外延材料批量化生产中这几项关键指标的控制,以及外延质量优化后红外焦平面性能的提升。Abstract:关键词:

关键词：HgCdTe外延材料;批量化生产;质量控制;红外焦平面探测器