《激光与红外杂志》发表论文赏析

10 μm小间距红外探测器的铟柱生长研究

来源：激光与红外杂志2020年第10期北京时间：

作者：张鹏

单位：华北光电技术研究所,北京 100015；

摘要：在10 μm小间距的条件下进行红外探测器的铟柱生长工艺,会得到铟柱高度不足的结果；本文针对这种情况,开展了小间距的铟柱生长研究,比较了在不同基片温度和蒸发速率条件下的铟柱高度,并分析了试验结果,得到了最优的生长工艺条件。

关键词：红外探测器;铟柱;小间距

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