基于LIBS技术和EDS技术检测熔覆层元素分布状态

来源：激光与红外杂志2021年第1期北京时间：

作者：雷鹏达

单位：1.福建工程学院机械与汽车工程学院物联网实验室,福建 福州 350118；2.中国科学院 安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室,安徽 合肥 230031；3.华侨大学机电及自动化学院,福建 厦门 361021；

摘要：为了研究Ni35+TiC熔覆层的微观结构和提高熔覆层的质量。引入目前在激光熔覆研究中尚未充分利用的LIBS技术对熔覆层进行研究。利用LIBS和EDS技术分析Ni35+TiC复合熔覆层中主要成分(Ni,Fe,C)。同时测量、分析熔覆层不同区域的差异。观察到EDS和LIBS数据之间具有较好的相关性,而LIBS可以测量到轻元素(C元素)分布的情况。LIBS和EDS技术结果表明元素沿熔覆层深度方向的分布是不均匀,此外还分析了光谱信息与硬度的关系、元素的谱线强度比与硬度之间的关系。结果表明,LIBS技术可以对熔覆层样品元素含量不均匀分布情况进行定性分析,且具备分析速度快,无需真空环境及样品制备等优势,从而为工业应用中熔覆层的特性评定提供参考。

关键词：光谱学;激光熔覆;微区元素分布;表面分析;硬度

基金资助：福建工程学院科研基金项目(No.GY-Z17010);数字福建工业制造物联网实验室项目资助