7.5μm小间距铟凸点阵列制备的研究
来源：激光与红外杂志2021年第6期北京时间：
作者：冯晓宇
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：红外成像系统中,减小像元间距是目前重点发展的主题之一,为了实现小的像元间距,制备高精度均匀化的小型铟凸点阵列是关键之一。针对75μm像元间距,本文通过系列实验和分析,研究了不同打底层尺寸和铟柱尺寸的组合对铟凸点制备的影响,为制备高精度小型铟凸点阵列提供了良好的指导。
关键词：红外探测器;小间距;铟凸点
《激光与红外杂志》发表论文赏析
作者：冯晓宇
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：红外成像系统中,减小像元间距是目前重点发展的主题之一,为了实现小的像元间距,制备高精度均匀化的小型铟凸点阵列是关键之一。针对75μm像元间距,本文通过系列实验和分析,研究了不同打底层尺寸和铟柱尺寸的组合对铟凸点制备的影响,为制备高精度小型铟凸点阵列提供了良好的指导。
关键词：红外探测器;小间距;铟凸点
