带热障涂层高温合金材料飞秒激光制孔工艺试验研究

来源：激光与红外杂志2021年第9期北京时间：

作者：温嵘

单位：1.中国航发西安航空发动机有限公司,陕西 西安 710100；2.中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西 西安 710119；3.西安中科微精光子制造科技有限公司,陕西 西安 710119；4.西安工业大学机电工程学院,陕西 西安 710021；

摘要：随着带热障涂层高温合金的广泛应用,对飞秒激光制孔的工艺也提出了更高的挑战,本文通过研究飞秒激光与氧化锆陶瓷的相互作用原理,计算出了当单脉冲能量约为80 μJ时,焦点内的材料可以被完全去除,并通过实验进行了验证。通过大量的优化实验,提出了针对带涂层高温合金的分段制孔法,总结出了最优的工艺参数,可用于任意角度制孔,所获得的微孔涂层表面质量完好,过渡段无裂纹,孔壁质量良好。

关键词：热障涂层;飞秒激光;微孔加工