基于微型压缩机的高精度紫外激光器温控研究

来源：激光与红外杂志2021年第10期北京时间：

作者：熊伟国

单位：1.深圳市酷凌时代科技有限公司,广东 深圳 518000；2.清华大学深圳国际研究生院,广东 深圳 518000；

摘要：温度对全固态紫外激光器的输出特性起着至关重要的作用。为了使全固态紫外激光器输出稳定,需要对其进行精确的温度控制,本文主要介绍一种基于蒸气压缩式变频制冷系统和电热补偿的温度控制方法实现对紫外激光器的高精度温控,该方法采用PID作为基本控制算法,对微型直流变频压缩机转速和电热功率进行控制,从而实现恒温系统兼具体积小、重量轻、效率高、温控好等特点。实验结果表明:该方法响应速度快,仅需6min就能使系统达到稳定；控制精度高,水温精度最高能达到001℃。随着紫外激光器在打标、精密切割等行业的大量应用,该方法兼具诸多优势,具有很高的实用价值和推广意义。

关键词：紫外激光器;微型压缩机;变频控制;电热补偿;PID控制