碲镉汞红外探测器电极接触研究
来源：激光与红外杂志2022年第1期北京时间：
作者：何斌
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：金属/碲镉汞电极接触是红外焦平面探测器的重要组成部分,对器件的性能与稳定性影响较大。然而在碲镉汞金属化过程中,金属离子能量较高将有可能对碲镉汞表面造成损伤。本文采用了离子束沉积系统生长金属电极,探究了束流、束压以及热处理等条件对碲镉汞红外探测器接触性能的影响。研究表明,碲镉汞在生长电极后表面会受到一定程度的损伤；随着离子能量的升高,对材料表面损伤加剧。在I V曲线中,电极沉积损伤较大的器件表现出软击穿现象；在热处理后,在一定程度上可以修复电极沉积时能量过大造成的损伤,提高了电极接触性能。
关键词：碲镉汞;离子束沉积;电极接触;热处理
