激光旋转切割石英管设备研制及其工艺研究
来源：激光与红外杂志2022年第4期北京时间：
作者：金越越
单位：北京华北莱茵光电技术有限公司,北京 100015；
摘要：为了实现将密封石英管内器件取出的目的,设计研制了一套激光旋转切割设备。由于石英管内密封晶圆类易碎器件,为了不产生振动将石英管内器件取出,利用激光非接触切割原理,以石英管为中心设计光学旋转切割系统,实现360°旋转切割石英管,并分析试验数据,通过优化的试验数据,最终实现高效、无损伤的石英管切割技术。
关键词：激光切割;石英管;光学旋转切割系统
