微透镜阵列扫描成像系统的衍射分析与研究
来源：激光与红外杂志2023年第7期北京时间：
作者：陈卉
单位：中国电子科技集团第十一研究所,北京 100015；
摘要：微透镜阵列是微光学元件典型器件之一,广泛的应用于光束整形、精密测量、光学成像等场景。本文研究了微透镜阵列扫描成像系统的工作机理,并重点分析了影响成像质量的光场衍射效应和杂散光串扰,完成了微透镜阵列扫描成像系统衍射效应的推导与仿真,揭示了衍射效应与焦距及子单元孔径之间的关系,为微透镜阵列扫描成像系统的实际应用提供了导向,并为微透镜阵列的光束控制应用提供理论支撑,为微透镜阵列的建模、设计等提供依据。
关键词：微光学;微透镜阵列;衍射效应;扫描成像;杂散光
