红外探测器制备中不同镀金层的对比分析
来源：激光与红外杂志2023年第10期北京时间：
作者：刘森
单位：华北光电技术研究所,北京 100015；
摘要：针对红外探测器制备过程中的多种镀金工艺展开了研究,通过对不同工艺制备的镀金层进行扫描电镜观察,发现不同的镀金工艺制备的样品存在较大的差异。电镀金层的晶粒直径为2～3μm,真空蒸发镀金的晶粒直径为100～600nm,离子束溅射镀金的晶粒直径在30～70nm之间。对不同的方法制备的金层与铟焊料的扩散速度进行了试验及分析,发现晶粒尺寸越小铟的扩散速度越快。
关键词：IRFPA电镀;真空蒸发;离子束溅射;晶粒
