激光振镜直写光栅误差分析及校正方法

来源：激光与红外杂志2023年第12期北京时间：

作者：任东旭

单位：中原工学院机电学院,机械工业光学传感与测试技术重点实验室,河南 郑州 451191；

摘要：针对振镜式激光直写光栅系统中存在的扫描畸变的问题,提出了一种内部转角优化和外部扫描误差补偿相结合的校正方法。以光栅栅距10μm为目标,建立了振镜系统的几何光学模型,对扫描误差进行了分析,然后对振镜转角进行了优化,进一步对振镜进行了曲线拟合补偿,坐标点(100,10)处误差从0936mm,1912mm降低到0148μm,00296μm。结果表明,这种方法能够满足振镜式激光直写光栅在短距离刻划的精度要求。

关键词：激光直写;二维振镜;误差校正;曲线拟合

基金资助：国家自然科学基金(No.51905558；No.51975599)资助。