高温热处理对碲锌镉衬底中Zn组分的影响
来源：激光与红外杂志2024年第5期北京时间：
作者：范叶霞
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摘要：随着高性能碲镉汞红外探测器对碲锌镉衬底质量要求的不断提高,研制高质量的碲锌镉衬底材料势在必行。本文采用真空高温热处理温场与源控制的衬底高温热处理工艺,系统地研究了主要热处理参数对碲锌镉衬底中Zn组分的影响,给出了Zn组分控制的热处理经验公式,初步获得了碲锌镉衬底中Zn组分的成分控制和高组分均匀性分布的方法,提高了碲锌镉衬底质量。
关键词：碲锌镉;性能改进;Zn组分;组分可调;组分均匀分布
